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通過共聚焦顯微測量技術(shù)實(shí)現(xiàn)高真空度環(huán)境下柵極腐蝕的在線實(shí)時(shí)測量,可以有效避免重復(fù)抽放真空對柵極設(shè)備壽命的影響問題,同時(shí)極大提高了柵極腐蝕檢測的速度和精度,測量精度可達(dá)到0.008mm,為柵極壽命試驗(yàn)提供精準(zhǔn)詳細(xì)的數(shù)據(jù)支持。
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